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智能工厂系统

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    晶圆片装、卸载

        系统应用长手臂多关节机器人，代替人工在清洁环境中的晶片的装载和卸载。使用的机器人清洁度符合ISO登记3级标准，机器的运动的范围节省工业现场空间。


    机器人晶圆片搬运操作演示



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